株式会社 菅製作所

スパッタ装置,PEEM,ALD,スペースチャンパー,真空装置,加熱炉,蒸着装置,機械加工,有機EL装置,
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装置

ALD

YAM Cleaner(ALD Cleaner)English

YAM Cleaner(ALD Cleaner)English

It is required to remove impurities of the surface of the substrate to make the thin film flourish in purity by ALD.
YAM Cleaner cleans the surface of the substrate with nitrogen.
In addition, the oxide film is applied to the cleaned surface of the substrate by the nitric monoxide.
It is effective to remove carbon becoming the impurities in a process to bring up a film beforehand.

YAM Cleaner




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