株式会社 菅製作所

スパッタ装置,PEEM,ALD,スペースチャンパー,真空装置,加熱炉,蒸着装置,機械加工,有機EL装置,
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装置

ALD

YAM Cleaner(ALD Cleaner)日本語

YAM Cleaner(ALD Cleaner)日本語

ALDで薄膜を純度よく成長させる為には、基板表面の不純物を取り除く事が必要とされます。
YAM CleanerはN2で基板表面をクリーニングします。
更に、クリーニングされた基板表面にN2Oで酸化膜をつけます。
膜を成長させる過程で不純物となる炭素を予め除去するのに効果的です。

YAM Cleaner




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