株式会社 菅製作所

スパッタ装置,PEEM,ALD,スペースチャンパー,真空装置,加熱炉,蒸着装置,機械加工,有機EL装置,
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装置

ALD

卓上型ALD装置 SAL1000シリーズ

卓上型ALD装置 SAL1000シリーズ
SAL1000
卓上型ALD装置 SAL1000シリーズ
SAL1000B(粉体成膜モデル)
卓上型ALD装置 SAL1000シリーズ
SAL1000G(グローブボックスモデル)

 先進の成膜方法である原子層堆積法(Atomic Layer Deposition:ALD法)で「いつでも、だれでも、簡単に」
薄膜を作成できる、卓上型の装置「SAL1000シリーズ」を12月1日から発売します。
ご要望の多い、粉体へ成膜できる機種もラインナップしました。
あわせて、反応性の高い試料のためのグローブボックスモデルを用意し、触媒や燃料電池等の研究に活用いただけます。
 
 『本装置による成膜サービスも開始しますので、お気軽にご用命ください。』

SAL1000シリーズ プレスリリース




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