株式会社 菅製作所

スパッタ装置,PEEM,ALD,スペースチャンパー,真空装置,加熱炉,蒸着装置,機械加工,有機EL装置,
真空溶接,金属加工の設計・製造・販売は北海道 函館 北斗市 札幌市の菅製作所にお任せ下さい。

研究開発トップ 装置 コンポーネント セール テクノロジー コンタクト リクルート
 
    株式会社菅製作所ホーム  
装置

ALD

卓上型ALD装置 SAL1000(デスクトップ型)

卓上型ALD装置 SAL1000(デスクトップ型)
SAL1000 デスクトップ型ALD装置

SAL1000は、原子層堆積法による成膜を行える、卓上設置可能な研究開発用の小型ALD装置です。
膜厚分布性能の向上に有効な基板回転、蒸気圧の高い原料の成膜に有効なプリカーサボトル高温加熱等の
オプションもご用意しています。

 原子層堆積法:Atomic Layer Deposition(ALD法)

SAL1000 デスクトップ型ALD装置




  掲載されている情報はすべて株式会社菅製作所が著作権を有しています。