株式会社 菅製作所

スパッタ装置,PEEM,ALD,スペースチャンパー,真空装置,加熱炉,蒸着装置,機械加工,有機EL装置,
真空溶接,金属加工の設計・製造・販売は北海道 函館 北斗市 札幌市の菅製作所にお任せ下さい。

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装置

ALD

ALD装置 SAL3000Plus(拡張可能型)

ALD装置 SAL3000Plus(拡張可能型)
SAL3000Plus ALD装置
ALD装置 SAL3000Plus(拡張可能型)
アニール装置との複合化
 左側:SAL3000Plus ALD装置
 中央:STR2000 トランスファーユニット
 右側:SAN2000Plus アニール装置

SAL3000 ALD装置と同様に、原子層を一層ずつ積み上げる成膜装置です。
装置納入後でも、フロッグレッグ基板搬送機構を装備した弊社トランスファーユニットをご購入いただけますと、
弊社アニール装置(基板クリーニング処理等の膜質・表面改質装置)や成膜装置(スパッタ・蒸着等)と複合化でき、
基板を大気に曝さずに多様な処理を行うことが可能です。

SAL3000Plus ALD装置




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