株式会社 菅製作所

スパッタ装置,PEEM,ALD,スペースチャンパー,真空装置,加熱炉,蒸着装置,機械加工,有機EL装置,
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装置

ALD

ALD装置 SAL3000

ALD装置 SAL3000
SAL3000 ALD装置
ALD装置 SAL3000
SAL3000 ALD装置
(真空置換グローブボックス付き)

ALD装置は、Highゲート絶縁膜、有機ELパッシベーション膜(封し膜)、保護膜、酸化膜等のプロセス用に開発されました。
原子層堆積法として古くから知られた手法で、原子層を一層ずつ積み上げる装置です。形状が複雑な三次元形状や深い溝への
成膜に対応した技術で、均質な膜厚・膜質を可能にした再現性に優れた装置です。

SAL3000 ALD装置




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