スパッタ装置,PEEM,ALD,スペースチャンパー,真空装置,加熱炉,蒸着装置,機械加工,有機EL装置,
真空溶接,金属加工の設計・製造・販売は北海道 函館 北斗市 札幌市の菅製作所にお任せ下さい。
蒸着装置・スパッタリング
ALD
PEEM
加熱炉
その他
ベルジャー型蒸着装置 SEV-100
蒸着源は2kw3連電子銃1台と抵抗加熱ボートを1ヶ搭載しており、同時使用も可能です。
抵抗加熱による有機EL蒸着も可能で、蒸着源間のコンタミネーション防止のためにシールド板が設けてあります。
チャンバー内壁にもシールド板が設けてあり、容易に交換することができます。
ベルジャー型蒸着装置
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