スパッタ装置,PEEM,ALD,スペースチャンパー,真空装置,加熱炉,蒸着装置,機械加工,有機EL装置,
真空溶接,金属加工の設計･製造･販売は北海道函館北斗市札幌市の菅製作所にお任せ下さい。

ベルジャー型蒸着装置　SEV-100

蒸着源は2kw3連電子銃1台と抵抗加熱ボートを1ヶ搭載しており、同時使用も可能です。
抵抗加熱による有機EL蒸着も可能で、蒸着源間のコンタミネーション防止のためにシールド板が設けてあります。
チャンバー内壁にもシールド板が設けてあり、容易に交換することができます。

ベルジャー型蒸着装置

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