株式会社 菅製作所

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装置

蒸着装置・スパッタリング

ベルジャー型蒸着装置 SEV-100

ベルジャー型蒸着装置 SEV-100

蒸着源は2kw3連電子銃1台と抵抗加熱ボートを1ヶ搭載しており、同時使用も可能です。
抵抗加熱による有機EL蒸着も可能で、蒸着源間のコンタミネーション防止のためにシールド板が設けてあります。
チャンバー内壁にもシールド板が設けてあり、容易に交換することができます。

ベルジャー型蒸着装置




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