株式会社 菅製作所

スパッタ装置,PEEM,ALD,スペースチャンパー,真空装置,加熱炉,蒸着装置,機械加工,有機EL装置,
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装置

蒸着装置・スパッタリング

卓上キュービックスパッタ装置 SSP1000

卓上キュービックスパッタ装置 SSP1000
       スタック配置
卓上キュービックスパッタ装置 SSP1000
  パラレル配置(左右逆配置可能)
卓上キュービックスパッタ装置 SSP1000

SSP1000は、絶縁ターゲットも放電できるRF電源を備えたスパッタ装置です。
小型ながらφ100mmエリアで膜厚分布の均一性が±5%の成膜性能を有しています。
装置本体部と電源部で構成されますが、装置本体部のみ設置面を変えることにより、
成膜方向(スパッタUP,SIDE,DOWN)を自由にお選びできますので、種々の実験に
貢献できる卓上設置タイプの小型スパッタ装置です。

SSP1000動画URL
https:// www.youtube.com/ watch?v=W0o_R0xUa-A

SSP1000 キュービックスパッタ装置




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