株式会社 菅製作所

スパッタ装置,PEEM,ALD,スペースチャンパー,真空装置,加熱炉,蒸着装置,機械加工,有機EL装置,
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装置

蒸着装置・スパッタリング

小型スパッタ装置 SSP2000Plus(拡張可能型)

小型スパッタ装置 SSP2000Plus(拡張可能型)
SSP2000Plus スパッタ装置
小型スパッタ装置 SSP2000Plus(拡張可能型)
ALD装置との複合化
 左側:SAL3000Plus ALD装置
 中央:STR2000 トランスファーユニット
 右側:SSP2000Plus スパッタ装置

SSP2000Plusは研究開発用途に適した小型スパッタ装置です。
2インチカソードを2基装備しているため、積層成膜が可能です。また、RF電源は異常放電を防ぐパルス機構付きを
標準採用しています。
装置納入後でも、フロッグレッグ基板搬送機構を装備した弊社トランスファーユニットご購入いただけますと、
弊社ALD装置、蒸着装置、アニール装置と複合化でき、基板を大気に曝さずに多様な処理を行うことが可能です。

SSP2000Plus スパッタ装置




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