株式会社 菅製作所

スパッタ装置,PEEM,ALD,スペースチャンパー,真空装置,加熱炉,蒸着装置,機械加工,有機EL装置,
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装置

蒸着装置・スパッタリング

小型スパッタ装置 SSP3000Plus(拡張可能型)

小型スパッタ装置 SSP3000Plus(拡張可能型)

SSP3000Plusは、研究開発用途に適した小型スパッタ装置です。
基板のφ100mmエリアで膜厚分布の均一性が±3%以下の成膜性能を有しています。
標準装備は、2インチマグネトロンカソード3基、高周波電源(RF電源)1台ですが、オプションとして、DC電源増設のほか、
3源同時スパッタ、積層成膜、基板高温加熱等の機能追加など豊富なラインナップを取り揃えております。
また、納入後でもフロッグレッグ基板搬送機構を装備した弊社トランスファーユニットをご購入いただきますと、
弊社ALD装置、蒸着装置、アニール装置と複合化でき、基板を大気に曝さずに多様な処理を行うことが可能です。
研究内容の変化に追随する装置を短時間で安価に再構できる、「環境とコストに優しい小型スパッタ装置」です。

SSP3000Plus スパッタ装置




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