株式会社 菅製作所

スパッタ装置,PEEM,ALD,スペースチャンパー,真空装置,加熱炉,蒸着装置,機械加工,有機EL装置,
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ウエットエッチング装置 SWE1000

ウエットエッチング装置 SWE1000

スプレー式で薬液エッチング、洗浄、乾燥工程の各レシピをプログラム設定できる
枚葉式のウエットエッチング装置です。

SWE1000 ウエットエッチング装置




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