株式会社 菅製作所

スパッタ装置,PEEM,ALD,スペースチャンパー,真空装置,加熱炉,蒸着装置,機械加工,有機EL装置,
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トランスファーユニット STR2000

トランスファーユニット STR2000
STR2000 トランスファーユニット
トランスファーユニット STR2000
複合化例
 左側:SAL3000Plus ALD装置
 中央:STR2000 トランスファーユニット
 右側:SAN2000Plus アニール装置

STR2000トランスファーユニットは、複合装置用基板搬送ユニットです。
複合化により、基板を大気に晒さずに各装置のプロセスチャンバーへ受け渡すことが可能になります。
コアチャンバーにフロッグレッグトランスファー(基板搬送機構)と矩形ゲートバルブを組み込み、
高い品質と性能・信頼性・安全性・低コストを実現しました。
同等の性能を有した手動搬送ユニットと比較して専有面積が少なく、ほぼ同等の価格で構築できます。(当社比)

STR2000 トランスファーユニット




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