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製品・サービス紹介



真空装置 光放出電子顕微鏡 真空機器 サービス 修理・メンテナンス



真空装置一覧


半導体・電子デバイス・機能性材料の開発に欠かせない真空装置を取り揃えております。

私たちはカタログ品に限らず、お客様のニーズを実現するための装置をつくります。


スパッタ装置蒸着装置アニール装置
トランスファーユニット加熱炉グローブボックスその他




スパッタ装置 ーSputtering Equipmentー


当社ではRF電源を搭載したラインナップを各種取り揃えております。

金属膜、絶縁膜、酸化膜、窒化膜等の各種薄膜を精密なコントロール下で成膜できます。


高性能多機能な拡張可能型

 

高性能多機能型

SSP3000Plus

SSP3000Plus

ALDやアニール装置と連結可能な高性能モデル。
多様な成膜条件に対応し研究開発から少量生産まで広く利用可能。

  SSP3000

SSP3000

多彩なオプションを有する上位機種。
膜厚分布±3%以下、基板加熱MAX800℃、多元同時放電等が可能。

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サンプルを大気に曝さないグローブボックス付

 

2元カソードのスリムタワー

SSP3000Plus

SSP2500G

大気を嫌うサンプルの成膜に最適。
オートマッチング機能を標準搭載でレシピによる全自動成膜を実現。

  SSP2000Plus

SSP2000Plus

ALDやアニール装置との連結が可能。
省フットプリントでありながらカソード2基を搭載したミドルクラス。

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成膜方向が変えられるキュービックスパッタ

SSP1000

SSP1000

卓上型RFスパッタのエントリーモデル。
チャンバーの置き方で成膜方向を上/下/横と自在に変えられる。

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ALD装置 ーAtomic Layer Deposition Equipmentー


アルミナやSiO2を代表とする各種の薄膜を1サイクル1原子層(約0.1nm)ずつ凹凸部まで均一に
成膜することが可能です。他の手法では得られない極薄の薄膜が得られます。



拡張可能型のALD

 

多彩な成膜条件に対応できる

SAL3000Plus

SAL3000Plus

スパッタ装置やアニール装置との連結が可能な拡張性を備えたALD。
SAL3000からの小型化も実現。

  SAL3000

SAL3000

デポダウン、デポアップ、ロードロック有無、グローブボックス有無の組み合わせの選択できる汎用型のALD装置。

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手軽に原子レベルの成膜を実現

 

粉体への成膜を実現

SAL1000

SAL1000

卓上型ALDのエントリーモデル。
小型ながら予備加熱から大気ベントまでを全自動で行える。

  SAL1000b

SAL1000B

粉体成膜専用モデル。
容器に回転と振動の動きを加えながらの成膜で粉体や粒状材料への全周囲成膜が可能。

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New グローブボックス付き卓上型ALD

SAL1000G

SAL1000G

卓上型ALDの三代目。グローブボックスを搭載しサンプルを大気と遮断。
粉体成膜にも対応。

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蒸着装置 ーVaccum Deposition Equipment ー


薄膜、厚膜、各種コーティング用途の成膜が可能です。
蒸着源は電子銃式と抵抗加熱式のいずれも対応できます。



ベルジャー型の蒸着装置

 

拡張可能型の蒸着装置

SEV-100

SEV-100

本体と操作部が一体となった実験用蒸着装置。
電子銃と抵抗加熱の2種類の蒸着源を搭載。

  SEV-2000Plus

SEV-2000Plus

蒸着電源と膜厚計を2基搭載できる蒸着装置。
Plusシリーズの装置と連結が可能。詳細は要問合せ。

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アニール装置/トランスファーユニット ーAnneal/Transfer Unitー


Plusシリーズに連結するオプション装置。
MAX1000℃の加熱やプラズマ処理により表面改質ができるアニール装置と、
装置間の基盤の受け渡しを担う基盤搬送ロボット。



膜質を改質するアニール装置

 

基板搬送用トランスファーユニット

SAN2000Plus

SAN2000Plus

基板の高温加熱と反応性ガスによる熱処理が可能。
RF電源の追加によりプラズマ処理で親水性の向上も図れる。

  STR2000

STR2000

PLUSシリーズ3台までと連結する省スペース基板搬送ロボット。
ロードロック室の役割も果たす。

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加熱炉 ーHeating Furnaceー


石英の炉芯管内に設置したサンプルを加熱する雰囲気制御型加熱装置です。
炉芯管内に設置したセンサーによる正確な温度制御、圧力制御、水蒸気導入、急冷機能など
様々な処理が行えます。


MAX1500℃加熱の雰囲気制御加熱炉

SAF3000

SAF3000

石英管を管状炉で加熱する雰囲気炉。
炉体のスライド移動によりサンプルの目視観察や急冷が可能。

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グローブボックス/真空チャンバー ーGlobebox/Vaccum Chamberー


大気成分を隔離した環境で作業をするグローブボックスや、
航空宇宙産業で活躍するスペースチャンバーも製造しております。



真空加熱チャンバーも搭載可能

 

宇宙環境の再現や衛星用部品の開発に

グローブボックス

グローブボックス

大気を嫌うサンプルを雰囲気ガスや真空状態で取り扱いできます。
作業目的に合わせた仕様で製作します。

  スペースチャンバー

スペースチャンバー

φ1mサイズの小型スペースチャンバー。
液体窒素循環式シュラウドや多数の導入ポートを搭載。

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その他装置 ーothersー


卓上型の薬液エッチャー ウェットエッチング装置

SWE1000

SWE1000

マスクされていない薄膜を除去するエッチング工程に使用。
プロセス条件は任意設定可能。

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光放出電子顕微鏡 ーMyPEEMー


紫外光などの短波長の光を照射し、サンプルから放出される光電子を検出することで、サンプル表面の仕事関数をリアルタイムで可視化することができる顕微鏡。



日本初の普及型光放出電子顕微鏡

MyPEEM

MyPEEM

サンプル表面の電子状態(仕事関数)をリアルタイムで2次元マッピングし、薄膜の成長過程や触媒反応等の観察が可能。

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平成27年度 内閣総理大臣表彰 第6回ものづくり日本大賞

製品・技術開発部門 優秀賞 受賞

件名:日本初の「普及型 光放出電子顕微鏡『MyPEEM』の開発」




真空機器一覧


弊社は装置メーカーとして真空ポンプや計測器等の真空機器を長年取り扱ってきた経験から様々なメーカーの商材を扱うことができます。 また、自社の加工設備を使い真空チャンバーや真空フランジ、継手類、真空バルブも製造しております。



真空ポンプ ーVaccum Pumpー


真空設備の必需品である真空ポンプについて取扱いの一例をご紹介します。


旧・アルカテルブランドのロータリーポンプ

真空ポンプ

Pascalシリーズ

世界初の直結型ロータリーポンプの流れを受け継ぐ真空ポンプ。用途に応じた豊富なモデルとオプションが魅力。

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真空バルブ ーVaccum Valveー


排気の制御に欠かせない真空対応のバルブです。


電磁ロータリーポンプバルブ

真空バルブ

SVシリーズ

自社製造のアイソレイトバルブ。ポンプから設備側へのオイルバックを防ぎ、設備側を真空保持します。

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真空チャンバー ーVaccum Camberー


自社工場で設計・製作・加工した真空チャンバー(真空容器)です。


ステンレスとアルミどちらも削れます

真空チャンバー

真空チャンバー

真空設備に欠かせないチャンバーを製作します。のぞき窓や電極部品、開閉ハッチも取り付けます。詳しくはお客様の図面や要望メモを基にお打合せとなります。

お問い合わせへ



真空継手 ーVaccum Fittingsー


弊社は社内の加工設備を用いてステンレスの母材からJIS規格準拠のVG/VF真空フランジを製造しています。規格のJISフランジに留まらず、指定穴の切削や、溶接を駆使して、お客様が必要とする形状の真空継手を提供することが可能です。




JISフランジ

CM001シリーズ

CM001シリーズ

JISフランジに準拠した材質SUS304の真空フランジです。Oリング溝付きのVGと、フラットなVFフランジを12A〜500Aまでのサイズで製作致します。ブランクフランジは、指定形状の追加工をして納品することができます。

カタログ確認



真空配管部品

オリジナル継手

真空継手

指定のフランジを溶接したニップル、エルボ、ティー、クロス管、フィードスルーを製作します。JISに限らずICFやISO(NW)フランジも対応可能。見積依頼時はフランジ規格、配管形状、表面処理などの情報をお伝えください。

カタログ確認



サービス


弊社製品を使用したテスト成膜サービスを行っております。


テスト成膜サービス


装置の新規導入を前提としたお客様を対象に、弊社保有のデモ機によるシリコンウェハやお客様御支給のサンプルに対するテスト成膜サービスを行っております。


お客様がご来社の上、装置本体の説明を含むテスト成膜のコースと、サンプルをお預かりして弊社で成膜する方法の2通りの方法を選択できます。ご要望の条件によっては有償での成膜となりますので一度ご相談ください。


また、弊社装置の導入が前提ではないお客様に対しても有償で成膜を承ります。但し、処理量や膜質への保証について制限がございますのでご相談ください。


シリコンウェハ上の堆積

シリコンウェハ上の堆積(SiO2薄膜


SiO2薄膜の膜厚見本

SiO2薄膜の膜厚見本(天井の模様など写真への写り込みあり)



弊社所有のデモ機

装置名

型式

保有している成膜材料

スパッタ装置

SSP1000

二酸化ケイ素(SiO2)
チタン(Ti)
ニッケル(Ni)
アルミ(AL)
鉄(Fe)

ALD装置

SAL3000
SAL1000B

アルミナ(AL2O3)用 TMA
ハフニア(HfO2)用 TEMAH
チタニア(TiO2)用 TDMAT
ルテニウム(Ru)用 Ru(EtCp)2

アニール装置

SAN2000Plus

成膜前後のアニール処理
プラズマ処理用途

SAL1000Bは粉体成膜専用機ですが、事前にご連絡頂ければ基板成膜用のSAL1000相当の仕様にセッティングしてのデモ及びテスト成膜を実施することができます。


成膜材料やテストに必要な付帯設備で弊社が保有していないものに関しては、御支給または御購入での対応となります。段取りや費用負担等の詳細はお問い合わせください。


お問い合わせ先 ⇒ 弊社営業部 TEL:050-3734-0730





修理・メンテナンス


保守サービス体制


弊社装置に関わる保守サービスは、北海道の本社及び静岡県の拠点から技術者を派遣して対応致します。また、改造・保守に関わる事前お打合せについては北海道と関東地区に駐在している営業担当者にて対応致します。
装置の導入後も安心して装置をご使用頂けるよう体制を整えております。

装置の御納入後の定められた保証期間内は、弊社が定める一定の条件(天災や誤った使用方法に起因する故障)に含まれない初期不良等の不具合に対しては無償による修理対応を行います。
詳細はお問い合わせください。


サービスメニュー例

・装置の定期メンテナンス、不具合時のサービス対応

・装置の改造や機能追加、それらに伴うプログラムソフトの変更

・装置の移設、レイアウト変更

・オペレーショントレーニング(ユーザー様の運用担当者の交代時など)

・消耗品の購入

・シールド部品に付着した膜の洗浄及び再ブラスト処理

・メール、お電話等で解決するご質問


案件に応じてご相談の上、お見積致します。

TEL:050-3734-0740 または 「お問い合わせ」フォームよりご相談ください。