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弊社成膜装置によるテスト成膜サービス


装置の新規導入を前提としたお客様を対象に、弊社保有のデモ機によるシリコンウェハやお客様御支給のサンプル(基板・粉体・部品)に対するテスト成膜サービスを行っております。


テスト成膜は以下の2通りの方法で行います。

1.お客様がご来社の上、装置本体の説明を含むテスト成膜コース。

2.サンプルをお預かりして弊社で成膜作業を行いサンプルをお返しするコース。

基本的に1回目のテスト成膜は基本料金を無料という前提で設定しておりますが、お客様のご要望する成膜条件やその他の条件によっては有償での対応になります。

また、ご対応できない成膜条件やスケジュール日程もございますので詳しくはご相談ください。


また、弊社装置の導入が前提ではないお客様に対しては有償で成膜を承ります。

但し、処理量や膜質への保証については制限がございます。詳しくはご相談ください。


シリコンウェハ上の堆積

シリコンウェハ上の堆積(SiO2薄膜


SiO2薄膜の膜厚見本

SiO2薄膜の膜厚見本(天井の模様など写真への写り込みあり)



弊社所有のデモ機

装置名

型式

保有している成膜材料

ssp1000
スパッタ装置

SSP1000

二酸化ケイ素(SiO2)
チタン(Ti)
ニッケル(Ni)
アルミ(AL)
鉄(Fe)

SAL1000B
ALD装置

SAL3000Plus
SAL1000B

アルミナ(AL2O3)用 TMA
ハフニア(HfO2)用 TEMAH
チタニア(TiO2)用 TDMAT
ルテニウム(Ru)用 Ru(EtCp)2

SAN2000Plus
アニール装置

SAN2000Plus

成膜前後のアニール処理
プラズマ処理用途

SAL1000Bは粉体成膜専用機ですが、事前にご連絡頂ければ基板成膜用のSAL1000相当の仕様にセッティングしてのデモ及びテスト成膜を実施することができます。


成膜材料やテストに必要な付帯設備で弊社が保有していないものに関しては、御支給または御購入での対応となります。段取りや費用負担等の詳細はお問い合わせください。


お問い合わせ先 ⇒ 弊社営業部 TEL:050-3734-0730(月曜から金曜日8:30〜17:00まで)
またはお問い合わせフォームからご連絡をお待ちしております。